Ellipsometer Sentech SE-400
Bei einem Ellipsometer wird linear polarisiertes Licht unter verschiedenen Winkeln auf eine Probe eingestrahlt und anschließend der Polarisationszustand des reflektierten Lichts bestimmt. Durch Vergleich aller Messergebnisse mit einem zuvor aufgestellten Modell kann auf die optischen Eigenschaften (Brechzahl und Extrinktionskoeffizient) und die Dicke des Schichtsystems geschlossen werden.
- manuelles Goniometer von 40° bis 70° in 5°-Schritten
- Laserwellenlänge 632,8 nm
- Genauigkeit der Schichtdicke: 0,1 nm bei 100 nm SiO2
- Genauigkeit des Brechungsindexes: 5·10-4 bei 100 nm SiO2
- PCSA-Aufbau (Polarizer/Compensator/Sample/Analyzer)
- Foto (c) Sentech