Labor für Messtechnik und Spektroskopie (M&S)

Labor für Messtechnik und Spektroskopie (M&S)

Digitalmikroskop

Digitalmikroskop „Keyence VHX-600“

Spektralphotometer

Spektralphotometer Perkin Elmer Lambda 1050

Fourier-Transform-Infrarot-Sprektrometer

FTIR-Spektrometer Bomen Series MB

Raman-Mikroskop für die ortsaufgelöste Ramanspektroskopie

Raman-Mikroskop WITec alpha 300

Ellipsometer

Ellipsometer Sentech SE-400

Ellipsometer mit spektral aufgelöster Messung

Ellipsometer „SENresearch SE 850 DUV 2C 16M“

Hall Messplatz zur Bestimmung von elektrischen Eigenschaften

Hall-Messplatz

Spektrometer mit Detektor

Hochauflösendes Spektrometer

Spektrometer Demon

LIBS - Messplatz

LIBS Secopta FiberLIBS lab

Si-Ritzer zum Teilen von Wafern

Ritzgerät "OEG MR-200"

Objektivrevolver eines Mikroskops

Auflichtmikroskop Zeiss Axio Scope A.1

Hochgeschwindigkeitskamera zur Analyse schneller Prozesse

Hochgeschwindigkeitskamera

Rasterkraftmikroskop

AFM Rastersondenmikroskop „Veeco di CP-II“

Ansprechpartner

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten genannt

Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Leiter der Arbeitsgruppe _{Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly} _{Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly}

Tel.: +49 3375 508 126
Mail: martin.regehly@th-wildau.de
Haus 14, Raum A219