Lehre

Vorlesungen

Physikalische Technologien/Energiesysteme (B.Eng.)

  • Struktur der Materie
  • Oberflächen- und Vakuumtechnik
  • Mikro-/Nanotechnik
  • Halbleitertechnik/Oberflächenanalytik (WPM)
  • Elektronenstrahlmikroanalyse (WPM)

Photonik (M.Eng.)

  • Mikrotechnologien
  • Optik und Photonik an Großgeräten (WPM)

Praktika

Vakuumtechnik:

  • Effektives Saugvermögen
  • Auftrieb in Luft
  • Dampfdruck von Wasser
  • Lecksuche

Oberflächentechnik:

  • Schichtdickenbestimmung und Rauheitsanalyse
  • Lichtmikroskopie an Grenz- und Oberflächen

Elektronenstrahlmikroanalyse

  • Analyse von Topografie und chemischer Zusammensetzung am Rasterelektronenmikroskop

Mikrotechnologien

  • Bau einer optischen Maus
  • Analyse von Chipstrukturen

Weitere Praktika

  • Im Rahmen der Vorlesungen Mikro-/Nanotechnik und Halbleitertechnik/Oberflächenanalytik gibt es die Möglichkeit, am Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik (IHP) praktische Arbeiten durchzuführen - auch als 2-wöchiges Blockpraktikum in der vorlesungsfreien Zeit.