Profilometrie
Beim Veeco Dektak 150 handelt es sich um ein taktiles Profilometer, bei dem die zu untersuchenden Oberflächen mit einer Diamantnadel abgetastet werden. Es dient der Analyse von
- Rauheit von Oberflächen
- Schichtdicke an Stufen
- mechanischer Spannung (en: stress)
MethodeBereich öffnenBereich schließen
Mit einem Profilometer kann die Oberflächenbeschaffenheit mit hoher Auflösung bestimmt werden. Bei einem taktilen Profilometer wird die Topographie durch eine Diamantnadel abgetastet. Die vertikale Position der Nadel wird mit Hilfe eines Differentialtransformators (en: linear variable differential transformer, LVDT) detektiert. Das Signal wird aufbereitet und über einen Analog/Digital-Wandler an den Mess- und Steuer-PC weitergegeben.
Neben der Bestimmung der Rauwerte der Oberfläche können damit an Stufenkanten auch Schichtdicken bestimmt werden oder bei Messungen über lange Strecken auch mechanische Spannungen z.B. beschichteter Wafer analysiert werden.
SpezifikationenBereich öffnenBereich schließen
- Vibrationsgedämpfter Tisch
- Maximale Probengröße: 150 mm (6 in.)
- Horizontale Auflösung (Schrittweite) bis < 10 nm
- Vertikale Auflösung bis 0.1 nm
