Labor für Oberflächentechnik

Labordetails

Fachbereich: Ingenieur- und Naturwissenschaften
Standort: Halle 14, Räume 14-B010 und 14-B007
Telefon: +49 (0) 3375 / 508 - 219

Laborausstattung

Geräte:

Profilometer Dektak 150 Veeco

Diverse optische Mikroskope mit Kameraanschluß

Nanoskop IV Multimode (Veeco) – AFM,STM. Lateral Force, Tapping Mode

TriboScope (Hysitron)

(normal/lateral Force Transducer)

NanoScan (Troitsk)

Hochvakuumpumpstand Edwards Auto 300

Elektronenstrahlverdampfer

in-situ Schwingquarz Schichtdickenanalyse

Gleichstromsputterquelle mit verschiedenen Gasanschlüssen

Plasmareinigung

Probenbewegung

thermische Verdampfung

Gefriertrocknungsanlage

Christ Alpha 1-2

Laborpraktikum

Oberflächentechnik:

• PVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition):
• thermisches Widerstandsverdampfen
• Elektronenstrahlverdampfen
• DC Sputtern
• Reaktives Sputtern   
• In-situ Schichtdickenmessung mit Schwingquarz       
• Prüfung und Bewertung von Oberflächenvergütung  
• Schichtdickenmessung  mit dem Profilometer
• Bestimmung der Oberflächenrauheit        
• Rasterkraftmikroskopie (Kontakt- und Tapping Mode)
• Nanoindentation
• Reibungskraftmikroskopie

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Impressionen Labor