Labor für Oberflächentechnik
Physikalische Technologien und Energiesysteme
Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften

Labor für Oberflächentechnik

Studiengang Physikalische Technologien/ Energiesysteme

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Labordetails

Fachbereich: Ingenieur- und Naturwissenschaften
Standort: Halle 14, Räume 14-B010 und 14-B007
Telefon: +49 (0) 3375 / 508 - 219

Laborausstattung

Geräte:

Profilometer Dektak 150 Veeco

Diverse optische Mikroskope mit Kameraanschluß

Nanoskop IV Multimode (Veeco) – AFM,STM. Lateral Force, Tapping Mode

TriboScope (Hysitron)

(normal/lateral Force Transducer)

NanoScan (Troitsk)

 

Hochvakuumpumpstand Edwards Auto 300

Elektronenstrahlverdampfer

in-situ Schwingquarz Schichtdickenanalyse

Gleichstromsputterquelle mit verschiedenen Gasanschlüssen

Plasmareinigung

Probenbewegung

thermische Verdampfung

Gefriertrocknungsanlage

Christ Alpha 1-2

Laborpraktikum

Oberflächentechnik:

  • PVD-Verfahren (Physical Vapour Deposition):
  • thermisches Widerstandsverdampfen
  • Elektronenstrahlverdampfen
  • DC Sputtern
  • Reaktives Sputtern   
  • In-situ Schichtdickenmessung mit Schwingquarz       
  • Prüfung und Bewertung von Oberflächenvergütung  
  • Schichtdickenmessung  mit dem Profilometer
  • Bestimmung der Oberflächenrauheit        
  • Rasterkraftmikroskopie (Kontakt- und Tapping Mode)
  • Nanoindentation
  • Reibungskraftmikroskopie

Impressionen Labor


    Prof. Dr. rer. nat. Asta Richter

Laborleiter/in Prof. Dr. rer. nat. Asta Richter Prof. Dr. rer. nat. Asta Richter