Labor für Plasmatechnik

Photonik & Optische Technologien

Labor für Plasmatechnik

Blick auf die Anlage zum reaktiven Magnetron-Sputtern

Sputteranlage

Sputteranlage "Von Ardenne LS 730 ES"

Sputteranlage

Sputteranlage Leica EM SCD500

Verdampfungsanlage

Verdampfungsanlage "Kurt J. Lesker"

Verdampfungsanlage B30 zur Herstellung von Schichten

Verdampfungsanlage B30

PECVD Beschichtungsanlage

PECVD-Anlage „Von Ardenne LS 350 P"

Ätzanlage zum Strukturieren von Si-Wafern

ICP-Ätz- und Beschichtungscluster „Sentech SI 500 C/D“

Blick auf einen einzelnen gepulsten Lichtbogen

HCA Verdampfungsanlage „Gefilterter Hochstrombogen“

Ansprechpartner

Die Ansprechpartner werden bei den jeweiligen Geräten aufgeführt.

Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly

Forschungsgruppenleiter _{Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly} _{Prof. Dr. rer. nat. Martin Regehly}

Tel.: +49 3375 508 126
Mail: martin.regehly@th-wildau.de
Haus 14, Raum A219