In-situ-pro
Optische in-situ Schichtdickenmesstechnik zur Steuerung von Sputterprozessen
In-situ-pro
Titel: Optische in-situ Schichtdickenmesstechnik zur Steuerung von Sputterprozessen (In-situ pro)
Projektbeschreibung:
Im Vorhaben wurden die hard- und softwareseitigen Grundlagen für eine optische in-situ Schichtdickenmesstechnik zur Prozesssteuerung einer vorhandene Sputteranlage geschaffen. Um die optische in-situ Messung zur Prozesssteuerung nutzten zu können, war eine Erneuerung der Anlagensteuerung inklusive Softwareupgrade sowie die Einbindung der Steuersignale einer Reflektometriesoftware in die Anlagensteuerung notwendig. Zudem wurde das vorhandene Kühlsystem erneuert, um eine kontinuierliche Kühlung des Sputtertargets zu gewährleiten.
Antragsnummer: 85053676
Projektsumme: 99.841,00 €
Fördersummes EU: 79.872,80 €
Eigenmittel: 19.968,80 €
Durchführungszeitraum: 15.10.2021-15.04.2023
Fördermittelgeber:
Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kultur des Landes Brandenburg
aus Mitteln zur Förderung der Infrastruktur für Forschung, Entwicklung und Innovation aus dem EFRE (InfraFEI)
Infrafei-Richtlinie Forschungsinfrastruktur
Ansprechpartner: