"Von Ardenne LS 730 ES"

Sputteranlage "Von Ardenne LS 730 ES"

• Magnetron-Sputteranlage
• geeignet für reaktives Sputtern mit Sauerstoff und Stickstoff
• Probengröße bis 2 Zoll
• Vakuum bis unter 10-6 mbar möglich
• Beschichtungsmaterialien u.a. Titan, Aluminium, SiO2, ITO
• Probenkarussel mit 4 Probenpositionen, ermöglicht das schnelle und saubere Aufbringen von Mehrschichtsystemen ohne zwischenzeitliche Öffnung der Probenkammer und Aufhebung des Vakuums
• 2 DC-Quellen, 1 HF-Quelle, 1 Verdampfereinheit
• Zum Herstellen von optischen Funktionsschichten wie z.B. dielektrischen Spiegeln, optischen Filtern wie Bandpassfilten, transparenten elektrisch leitfähigen Schichten wie Indiumzinnoxid als transparente Elektrode in Display oder Titandioxid als elektrischer Halbleiter für UV-Dioden