KrF-Laser-Arbeitsplatz „ProMaster ATL/Optec“
- KrF-Excimerlaser (λ=248 nm) mit 5 W bei 300 Hz
- Arbeitsbereich 100 mm x 100 mm
- Auflösung: 1 µm
- max. Verfahrgeschwindigkeit: 10 mm/s
Zum nicht-thermischen Bearbeiten und Strukturieren von Materialien und Oberflächen. Das Bild rechts zeigt eine mit dem Laser in einem Polymer erzeugte Wellenleiterstruktur.